:高纯模压 PFA 一体成型
低离子析出(<18μg/L)、透明可视、耐 HF 长期高温负压,无内衬接缝、无渗漏,长期使用不蠕变,满足 G4/G5 超高纯要求。
经济型:改性 PTFE(膨体四氟)
成本更低,适合 G2/G3 量产,密封、填料、垫片通用;高温稳定性弱于 PFA。
禁用:304/316 不锈钢、哈氏合金、石英、普通 PP/PE,HF 会腐蚀析出 Fe、Cr、Ni、Si 等重金属污染成品。
填料:PFA 鲍尔环、PFA 阶梯环、PTFE 规整填料;可选 SiC 碳化硅填料(亲液好、分离效率高,加工成本高)。
液体分布器、再分布器、支撑栅板:整体 PFA 注塑,防壁流、保证气液均匀接触。
回流头、视盅、流量计:全 PFA 内衬,无金属接触。
再沸器:沉浸式 PFA 管束换热器,热媒走管外,HF 隔离金属;
冷凝器:PFA 列管冷凝,配套独立闭式低温冷水机组(14~20℃恒温),全密闭冷凝回收 HF 蒸汽。
塔釜(提馏段)
内置 PFA 沉浸式加热管束,负压低温亚沸汽化;高沸杂质(重金属、硫酸盐、硅化物)富集釜底定期排放;仅提馏段设置 PFA 手孔,其余段无开孔减少污染点。
中部精馏段
多层规整 / 散堆 PFA 填料,理论塔板数 40~80 层;气液逆流接触分离轻重杂质;配套多级液体再分布,消除壁流降低分离效率损失。
塔顶回流段
塔顶气相进入 PFA 冷凝器冷凝,冷凝液经高精度PFA 回流比控制器分两路:一路回流入塔内,一路采出高纯 HF;回流比可调 2~8,G5 级高纯度工况回流比 4~6。

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