无金属析出亚沸精馏机组

一、产品定义

1. 全惰性无金属流路：所有接触物料、蒸汽部件无不锈钢、碳钢、铜等金属，从源头杜绝金属离子溶出污染；

2. 亚沸低温汽化精馏：物料低于沸点表层温和挥发，无沸腾雾沫夹带，物理截留重金属、微粒杂质。

   产出试剂稳定达到 UP/UPSS 电子级，适配芯片清洗、湿法刻蚀、ICP-MS 痕量分析等高洁净场景。

二、核心工作原理

1. 亚沸分离（杜绝雾沫夹带杂质）

2. 无金属析出材质保障（核心 “无金属" 逻辑）

• 高纯熔融石英（SiO₂≥99.999%）：热稳定性强，金属本底极低（Fe/Cu＜0.01ppb），适配高温、有机溶剂体系；

• 高纯 PFA 全氟塑料：一体模压成型，耐、浓强酸，表面光滑低吸附，无金属填料析出，适配 HF、高纯酸提纯。

  配套管件、填料、阀门、收集罐全部匹配石英 / PFA，无金属内衬、金属接头、金属测温探头；液位采用非接触式红外传感，避免金属探针浸入物料污染。

3. 多级精馏强化提纯

• 热敏物料：负压低温精馏，防止高温分解；

• 强腐蚀强酸：全程氮气隔绝空气，避免氧化杂质生成；

  单级提纯金属杂质降至 ppb 级，多级串联可稳定实现 ppt 级超高纯介质。

三、整机模块化结构（全套无金属）

1. 低温恒温汽化单元：PFA / 石英蒸发釜、非接触辐射加热、PID 精准温控；

2. 无金属精馏塔单元：石英 / PFA 塔体、惰性规整填料、全氟回流比控制器；

3. 分级冷凝收集单元：PFA / 石英冷凝盘管、分段梯度冷却、洁净成品储罐；

4. 惰性保护 / 真空单元：PTFE 管路真空机组、氮气稳压密封系统；

5. 智能自控单元：触摸屏、无金属液位监测、自动进料 / 采出 / 排残、过热干烧保护；

6. 残液排污单元：全 PFA 三通阀，自动分离重金属富集残液，定期外排。