防爆型电子化学品纯化机组

二、整机系统组成

1. 核心纯化单元：可按需配置减压精馏塔、多柱吸附纯化模组、PFA 精密过滤组件，分离去除微量金属杂质、颗粒物、水氧、异构杂质；

2. 防爆动力电控单元：全部电机、传感器、电磁阀、触控元件采用防爆元器件，整机接地防静电，密闭管路抑制可燃气体外泄；

3. 惰性气体防护单元：高纯氮气微正压隔绝空气，抑制溶剂挥发、物料氧化，规避爆炸混合气生成；

4. 在线监测自控单元：实时管控温度、真空度、压力、电导率、金属离子参数，支持全自动连续运行、DCS 远程联动；

5. 安全配套单元：配置紧急泄压、溶剂废气回收、泄漏传感报警、水冷降温防护组件。

三、核心技术优势

1. 全域防爆安全：整套电气达到工业防爆标准，密闭无挥发结构、氮气隔绝、防静电设计，适配防爆车间高危作业；

2. 低析出高纯材质：物料通路选用抛光 316L 不锈钢、PFA、石英材质，金属离子析出可控至 ppb 级别，满足 SEMI 电子化学品等级；

3. 多工艺灵活适配：可组合精馏、吸附、膜除杂工艺，适配醇类、醚类、酯类、酮类各类易燃电子溶剂；

4. 模块化撬装结构：整机集成撬装，到场对接管线即可投产，小试、中试、工业化量产机型齐全。