全流程低析出材质超纯水系统 杜绝二次污染 水质持续达标

电子超纯水离子交换纯化装置

电子超纯水离子交换纯化装置是通过阳树脂、阴树脂及混床树脂多级离子交换，深度脱除水中金属离子、盐分、带电杂质的专用纯水制备设备，终端出水电阻率可达 18.25MΩ・cm，满足 SEMI G3-G5 级电子级超纯水标准，广泛应用于半导体晶圆清洗、光伏电池制备、电子元器件生产、光刻工艺配套等场景。装置按产水量分为实验室小型机、中试机组与工业级大流量系统，全流程采用 UPVC、PVDF 等低析出材质，杜绝二次离子污染，保障终端水质稳定性。

电子超纯水离子交换纯化装置

整套系统采用多级串联工艺架构：前端配置预处理单元，经精密过滤、活性炭吸附去除悬浮物与余氯，保护后续树脂单元；核心纯化段由阳床、阴床、抛光混床逐级递进，阳树脂置换钙镁钠等阳离子，阴树脂去除硫酸根、氯根等阴离子，末端抛光混床实现痕量离子深度捕获，将总有机碳与金属离子控制在 ppt 级别；配套树脂在线再生系统，通过酸碱液反洗恢复树脂交换容量，延长设备使用寿命。装置搭载电导率、电阻率、TOC 在线监测仪表，实时反馈水质状态，PLC 全自动控制产水、再生、切换全流程，产水水质稳定达标，是电子制造、精密实验室等高纯水需求场景的核心设备。